光珊主要是用来机床相对较高的精密检测设备,它是一种非接触式测量。它是运用几何光学展开工作,按样子可以分为圆光珊与长光珊。圆光栅用以角速度的检查,长光栅用以直线偏位的检查。
光栅是运用光散射、衍射制作而成光学测量电子器件,它一般是由光栅尺(包括尺标光栅和标识光栅)和光栅读数头两大类。
光栅读数头由灯源、镜片、标示光栅、光敏元件和推动路线构成,如下图2-23所显示。
普适性光珊基本上系统工作原理是依据物理中的莫尔条纹的建立基本要素开展工作的,在这里不会再详细描述。
光栅具备以下优点:
(1)响应速度快、检测范围宽、精准测量精确度高。测平行线偏移,精度可达0.5~3μm(300mm范围之内),屏幕分辨率可达0.1μm;测角位移,精度可达0.15″,屏幕分辨率可达0.1″,甚至更多。
(2)可以实现动态测量,便于完成精确测量及数据处理方法的自动化技术。
(3)具有较强的抗干扰能力。
(4)怕震动、怕油渍,高精度光栅的制作成本高。